叶回舟微笑着点点头,说道:“请您开机通电,我想看看这部机器是怎样运作的!”
“好,任工,把车间通电!”
跟在后面的任技术员,赶紧跑到隔壁的配电房,拉闸通电。
王厂长抚摸着这台冰冷的机器对着叶回舟说道:
“这台机器一次可装35片,在进行接近式曝光试验时,分离间隙在10-30微米,负性光刻胶的分辨率可达3-5微米,进行软接触式曝光分辨率为2.5微米……”。
叶回舟点头听着,他还是第1次见外国的光刻机。
就在前几年由rb通商产业省牵头,以hitachi(日立)、mitsubishi(三菱)、Fujitsu(富士通)、toshiba(东芝)、NEc五大公司作为骨干,了。
联合通产省的电气技术实验室(EIL)、工业技术研究院电子综合研究所和计算机综合研究所,组建“VLSI技术联合研发体”。
投资720亿日元,其中政府出资320亿日元,攻坚超大规模集成电路的技术难关。
dc400是这个时期的产物,但。1978年,美丽国的GcA推出了革命性的曝光装备mann4800dSw。
这是全球首台分步重复(Steppers)曝光装备,研发费用达500万美元。
该装备用波长436纳米的g线作为曝光光源,采用carlZeiss的S-planar10\/0.28镜头,进行10:1的缩小比例曝光,可以对10毫米x10毫米的区域进行曝光,分辨率可达1微米。
售价为45万美元,立刻就把rb人生产的光刻机淘汰了两代,像dc400刚生产出来的时候,造价25万美元。
经过七八年的时间。
到了现在,美丽国的GcA真正使步进器成为主流光刻工具的是256KdRAm一代,占据了市场领导地位。
不过岛国在奋起直追。
此时,七八年前的初代光刻机,像什么dc400,pLA-500等等,都成了垃圾货,摆在仓库里还占地方。
所以,这批光刻机还有很多设备,王厂长是捡洋垃圾捡来的,卖20万他赚发了。
不过叶回舟不知道的事。
此时大陆的科学院109厂的研制开发的KA-7光刻机已经做出来了,不过还没批量生产。
机电部45所研制出了分步光刻机样机,通过电子部技术鉴定,认为达到美丽国4800dSw的水平。
兔子第一台分步投影式光刻机,采用的是436纳米G线光源。
按照这个时间节点算,大陆在分步光刻机上与国外的差距不超过五年,美丽国是1978年。
这些光刻机水平均不低,最保守估计跟现在最先进的国外的光刻机相比最多也就不到4年。
前年魔都的元件五厂和无线电厂甚至成功仿制英特尔公司8080cpU,比德国仿制成功还早一年。
此时大陆的半导体工业仅次于美丽国,领先于韩、台、日。
取消了包括运10、直8、远程轰炸机、大型导弹驱逐舰、长城\/曙光大型计算机项目、数字焊接系统等一系列军用、民用高精尖技术项目下马,光刻机项目也在其中。
彼时wh无线电元件三厂在光刻机的科研上已经在光刻机项目上有了20多年的技术积累,是有可能实现从量变到质变的过程。
然而没有了国家经费的支持,一切都成了空谈。
大陆半导体在五十年代到七十年代创造的盛景成了泡沫。
光刻机是一种非常复杂的机械设备,由传感器、控制单元、激光器、光学系统、记录介质和机械构成。
这台dc400,启动足足花了半个小时的时间,操作他的,任技术员看样子是不很熟手。
他问道:“王厂长,这样一台机器一天可以生产,多少小灯珠用的pn芯片。”
王宏源想都没想就回答:“这台设备是78年前的,当然不可能跟现在的比。
要是材料备齐的话,24小时生产,大概一天能有4万片左右。
当然,国外最先进制程的高速光刻机,大概一天40万到50万片左右,可惜咱们没钱买。”
叶回舟点了点头笑着说道:“就算我们有钱买,他们也不会卖,你说是不是!”
“对了,你现在制作的pn芯片良品率是多少?”
叶回舟又问道。
“我们厂的封装技术不行,还在改良中,不过就pN芯片这种成熟的芯片,大概在70%吧!
如果制造计算机芯片,包括微处理器、内存芯片、I\/o芯片、逻辑芯片以及其他电子元器件,良品率就要低很多了。
从过年到现在我现在赔本赚吆喝,好的有了pN芯片封装技术简单,到现在为止还能维持。
但是生产线都搬过来了,这里面很需要一点费用。
哎!
不然的话我说什么也不会卖光刻机的!”
叶回舟听完话知道王厂长一半真一半假,就笑着,说道:“如果有90%以上的良品率,你的厂子就运转成功了”。
王宏源隔着口罩叹了一口气说道:“卖给你这部光刻机,我把这些钱全部拿来做封装技术,好在场地不用钱,这里的人工也便宜,我还撑得下去。”
叶回舟此刻对王宏源蛮赞许的,确实是高瞻远瞩,并且付出了行动,敏锐的感觉出,他如果来大陆做半导体,就可能发的猪头一样。
但叶回舟却在前世没有听说过这一号人,估计是一年以后封装技术过关,厂子倒闭了。
“帮不帮他好呢?”叶回舟考虑着。
站在他旁边的聂同学,看着车间里的设备,又看了看旁边在思考中的叶回舟。
就低声问道。
“这台光刻机行不行?”
“不晓得,看试运行一天,有没有4万片的产量。”
王厂长正好要制作20万枚pn芯片,就对着旁边的任技术员说道:“去日本学习的工人今天统一换装上班,你打个电话去通知他们。”
叶回舟在旁边听闻也没做声,而是看着光刻机倒膜玻璃板里面的底片。
底片上,确实是pak100芯片线路图。
估计王厂长买的碟片,画出线路图,把线路图制作成“掩膜”。
你想象它是照相的底片,把底片投射到涂了光刻胶的芯片。