理论上,激光波长越短脉宽越短,加工热效应越小,越有利于微细精密加工,但成本相对较高。
他现在想做一个红光激光头,搭配到切片机上。
然后彭教授答应他,尽量找出划片所需要的激光晶圆激光切片机,里面的激光是采用的什么激光波长。
他那时候就应该拿出后世的工业激光器成熟的波长,不应该叫彭教授费脑力去试验。
当他上首都之前,心态和现在完全不同。
顾维军低声地问叶回舟:“你对激光划片机很感兴趣吗!
我听说,你研制的划片机很好啊!”
叶回舟低声回答道:“我研制的划片机切割晶圆时,随着厚度的不断减薄,晶圆会变得更为脆弱。
晶圆越切越薄,机械划片的破片率从而大幅增加。
现在这个阶段,我们国家的晶圆价格昂贵,百分之几的破片率就足以使利润全无。
另外,当成品晶圆覆盖金属薄层时,问题会变得更加复杂,金属碎屑会包裹在金刚石刀刃上
使切割能力大下降,严重的会有造成破片、碎刀的后果,崩边现象会更明显,尤其是交叉部分破损更为严重。
当机械划片遇到无法克服的困难时,我自然想到用激光来划片。”
叶回舟抬起头操得熟练的伦敦音询问约翰:“这台设备使用的是什么激光,波长!”
约翰听闻顿觉有戏,就热情地回答:“红外IR,波长1064nm,功率20w\/30w
加工晶圆尺寸上限4inch,你需要改到6英寸我的工程师也能改,只不过要加点钱。”
叶回舟又鄙夷英国佬,还没干活了,一个劲地问你要钱。
他知道,后世的激光划片设备,大部分都采用工业激光器,波长主要有1064nm、532nm、355nm三种。
约翰的这一台设备,使用的是1064nm波长,属于红光光源。
在激光切割行业中,常用到的几种光源,绿光,红光,紫光,不同的光源应用于不同的材料。
根据需加工材料的特性、材料的厚度、加工质量要求以及对激光光束质量、热影响要求越高的,对激光波段的吸收不一样。
所对应的激光切割机也会不同。
约翰的激光划片机使用的红光的波长为1064nm,红光激光头具有高稳定性,而且精度高、运行速度快、加工成本低。
而且红光激光功率大,可切割材料的种类多,适合大件产品的加工。
中间的绿光波长为532nm,它的光斑很小,焦距更短,属于冷加工模式,在精密切割方面有着不可代替的作用。
尤其在线路板、玻璃,陶瓷,珠宝,眼镜等行业。
另外还有紫外激光355nm波长,这个波长的产品属于全能型的,它的光斑也很小,由于特Um波长。
在传统加工领域有这个全能的称号,激光打标,激光切割,激光焊接都能看到他的身影。
叶回舟设想中,在最近几年””要把光纤激光划片机做出来。”
光纤激光划片机就是一种,别的波长的激光不能加工的它也可以。
尤其在超薄方面表现更是不俗,针对金属产品的微细超薄切割方面可以做到无毛刺,整齐平滑,速度快捷,能耗低廉等优势。
因此,他打印了,资料给彭教授,拜托他把激光源研究出来。
边上的书呆子的男人就拿塑料英语问约翰道:“你的激光头一个光斑直径是多少?”
“这……,约翰他又不是工程师只是个老板,对于细节技术方面的事,他就不是很清楚了。”
“5微米左右,这是试验数据,正常来讲一微米至三微米,看样子他厂子里的老外工程师对红外激光也是半桶水,呵呵!”
这句话叶回舟是用普通话说给书呆子的男人听的,完全没有必让英国佬,反正英国佬也听不懂普通话。
叶回舟把小册子实验报告,递给了书呆子的男人。
书呆子的男人接过实验报告一边翻一边说道:“激光划片机在理想情况下,直径范围内的激光可以实现切割。
实际上,划片宽度略大于光斑直径,在划片时,聚焦后的光斑直径当然是越小越好,这样划片尺寸就会越小……。”
叶回舟也翻过资料,后世的激光划片机聚焦光斑方法就是减小焦距。
但是,减小聚焦镜焦距的代价就是焦深会缩短,使得划片厚度减少。
现在正是科技大发展的前期,大规模集成电路时代已向超大规模方向发展。
以后集成度会越来越高,划切槽也越来越窄,其对划片的工艺要求越发精细化。
在小册子的实验数据来看,约翰的激光划片机,跟后世的没有什么区别了。
区别就是他无法根除飞溅的问题而已。
激光熔融硅单晶加工,类似于金属熔断的生产工艺。
因此,激光切割结晶时燃烧的硅渣会四处飞溅,蒸发的硅尘颗粒会粘附在处理芯片表面,造成污染,可能无法使用处理芯片。
这也是激光切片机的致命缺点。
书呆子的男人翻完报告,摇摇头对叶回舟讲道:“外国人设计得跟咱们的设计的几乎一模一样,激光切片机燃烧的硅渣会四处飞溅,也没得到很好的处理。
师傅,你是哪一个研究所的?你回去劝你们领导不要买!”
“我是湘南省电子机械学院的,我叫叶回舟,请问你贵姓!”。
书呆子扶了一下眼睛,说道:“774所,不过现在改名了,首都电子管厂,王北周。
首都电子管厂啊!
叶回舟突然想起来,这不就是京东方前身吗!
他记得前世的时候炒过京东方的股票,可惜个买进来一路下行亏大了,他就忍痛亏了50%把他清仓了。
哪里知道,过不了一个月,就从两块几涨到了六块几,典型的就是割韭菜的。
现在首都电子管厂是一家老牌军工企业。
可自1980年以来先进国家的核心电子元器件早就不是电子管。
而是晶体管和集成电路。
所以没有跟上时代的电子管厂,在整个八九十年代无法适应市场连年亏损为了谋生路。
当然刚改了名字的电子管厂,还能苟延残喘一段时间。